University · Materials Science · Electronic and Optical Materials
Thin Film Deposition Techniques
4 Abschnitte1 Karteikarten-Decks1 Quizze
Surveys the physical and chemical vapor deposition methods used to grow electronic and optical thin films, including sputtering, evaporation, CVD, and atomic layer deposition, and the growth-mode physics that governs film microstructure.
Inhaltsübersicht
- Why Thin Films, and the Physics of Nucleation and Growth
- Physical Vapor Deposition: Evaporation and Sputtering
- Chemical Vapor Deposition and Epitaxial Growth
- Atomic Layer Deposition and Process Selection
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